净化工程
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净化工程洁净室的发展
发布时间:2016-3-20
 
净化工程 洁净室的发展从国外发展来看,如果细分一下,大约有以下几个过程:
  第一,朝鲜战争中美国发现其大量电子仪器失灵,返修率甚高,最后终于找到主要原因在于灰尘作怪,这促成了洁净室技术的起步。
  第二,1957年苏联第一颗人造卫星上天后,刺激美国加速发展宇航事业,特别是阿波罗号登月,不仅精密机械加工和电子控制仪器要求净化,而且为了从月球带回岩石,对容器、工具的洁净度有严格要求,其加工环境必须超净,因而带动洁净室技术和设备的大发展,出现了层硫技术和百级洁净室,出现了第一个洁净室标准。(净化工程
  第三,1970年1K位的集成电路进入大生产时期,中国不久也开始集成电路会战,使洁净室技术得以腾飞。日本从60年代初到70年代空气洁净技术产品迅猛发展,t971年突然急剧降到低谷,但次年又突然飞速发展起来。这还和药品生产对洁净室的需求进入新阶段有关,因为1969年世界卫生组织正式制订了GMP(药品生产质量管理规范)。
  第四,go年代大规模和超大规模集成电路的发展进一步促进空气洁净技术的发展,其中集成电路上的最纫光刻线条宽度进入2—3um,7D年代末和80年代初美国h日本研制成o.1um级超商效过滤器,于是既对秸净室提出高要求,也有了高手段。1985年B、美、西欧净化产品总值约2g亿美元,1988年达到73亿美元。
  到80年代末仅日本就突破5000亿日元即35亿美元。净化工程
  第五,即90年代,世界范围的洁净室技术将依靠什么动力再发展?
  概括在80年代中期日本备领域有关洁净空投资的分配及趋势分析,有人预言80年代后期生物洁净技术产品将占工业洁净空市场的一半以上,例如日本1985年这方面的投资中电子占48.1%,精密工业占l 9.9%,药品占l 4.8%,医疗占l o.3%,食品占5.5%,航空宇宙占o.2%,印刷占o.5%,化学占o.1%,农林亩产占o.1%,研究所占o.1%,其他占o.2%。其中医药食品共占30%以上,工业沾降室占68%,所以生物洁净已近工业洁净投资的一半。净化工程
  但是随着形势的变化,90年代促进洁净室技术大发展的动力将是电子工业即集成电路的生产,其原因为:
  (1)超大规模集成电路生产取得了新发展,8。年代集成电路最细光刻线条宽度在微米级,而80年代末和进入90年代则达到亚微米j到世纪末要求为o.1”o.2pm,集成度达lKM。这是什么意思2刚才说过,1970年tK位电路进入大生产,相当于“20mm’大的硅片上有2万个左右元件,1981年60mm’硅片上有60万个元件,到了1986年1M集成度时,就相当有200个元件,到lKM集成度时就可能有20亿个元件集中在一块硅片上,详见表l—l。净化工程
  而要求控制的尘粒必须为此光刻线条的t八o,今天已要求o.1p mt o级,将来则要求o.01p mlo级也并不是耸人听闻的了。  美国在1988年有185.8万m’洁净室,其中o.1p mlo级即占十分之(3)海湾战争使人们认识到电子技术的极端重要性,可以说,洁净室技术是电子尖端技术的一大支柱。(净化工程)正因为如此,:D年中期B本还预测生物洁净室要赶上来,但到了90年代初锰计1991~1993年的洁净室市场时,日本电子工业方面的洁净室市场占全部的78%,而医药只占8%.新兴的亚洲工业国家和地区也把优先发展电子工业放在首位,电子工业的洁净室市场占87%,而美国电子工业占57%,医药占l 6%,欧洲电子土业占40%,医药占30%    洁净室建设在我国已有30多年的历史,现在,我国的洁净室技术已发展到:
  (1)从军工走向民用——制药、医疗、食品;(2)从高精走向普及——不仅高招尖产业要求,一般民需产业和家庭生活也出现大量需求;(3)从国内走向国外——
空气净化产品和洁净室工程已定出国门。
 
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